The physics of micro/nano-fabrication /

Bibliographic Details
Main Author: Brodie, Ivor
Other Authors: Muray, Julius J.
Format: Book
Language:English
Published: New York : Plenum Press, [1992]
Series:Microdevices.
Subjects:

MARC

LEADER 00000cam a2200000 a 4500
001 in00001114682
005 20150930070409.0
008 920727s1992 nyua b 001 0 eng
010 |a  92028941  
015 |a GB93-8110 
020 |a 0306441462 
035 |a (OCoLC)26398446 
035 |9 AFV7201AM 
040 |a DLC  |c DLC  |d UKM  |d TXA  |d UtOrBLW 
049 |a TXAM 
050 0 0 |a TK7874  |b .B725 1992 
082 0 0 |a 621.381  |2 20 
100 1 |a Brodie, Ivor. 
245 1 4 |a The physics of micro/nano-fabrication /  |c Ivor Brodie and Julius J. Muray. 
264 1 |a New York :  |b Plenum Press,  |c [1992] 
264 4 |c ©1992 
300 |a xix, 650 pages :  |b illustrations ;  |c 26 cm. 
336 |a text  |b txt  |2 rdacontent 
337 |a unmediated  |b n  |2 rdamedia 
338 |a volume  |b nc  |2 rdacarrier 
490 1 |a Microdevices 
504 |a Includes bibliographical references and indexes. 
650 0 |a Microelectronics. 
650 0 |a Thin-film circuits. 
653 0 |a Microelectronics 
700 1 |a Muray, Julius J. 
830 0 |a Microdevices. 
999 |a MARS 
999 f f |s 90608b67-8c28-338e-801e-b7c017822f6c  |i 9c533cfe-be24-36fa-87c4-992204747172  |t 0 
952 f f |p normal  |a Texas A&M University  |b College Station  |c Sterling C. Evans Library  |d Evans: Library Stacks  |t 0  |e TK7874 .B725 1992  |h Library of Congress classification  |i unmediated -- volume  |m A14817056182 
998 f f |a TK7874 .B725 1992  |t 0  |l Evans: Library Stacks